プラズマは 1879 年にウィリアム・クルックスによって初めて発見され、1929 年にアーヴィング・ラングミュアによって「プラズマ」と命名されました。チップ製造におけるプラズマの応用は非常に一般的かつ重要であり、これは非常に重要であると言えます。
ASML は、1984 年 4 月 1 日に ASM リソグラフィーとして設立されました。 フィリップスと ASM インターナショナルのこの合弁事業の使命は、フィリップスが開発したウェーハ ステッパーである PAS 2000 を商品化することです。