世界初の産業用ロボットは 1962 年に米国で誕生しました。米国の技術者ジョージ チャールズ デボル ジュニアは、「ティーチングとプレイバックによる自動化ロボットへの柔軟な対応」を提案しました。
現在、国内の真空半導体部品は約 3 ～ 5 年前の国内半導体装置の開発段階に相当し、国内の複数の部品サプライヤーがいます。
