アルミナセラミックスは、アルミナ(Al2O3)を主体とした厚膜集積回路用セラミック材料です。
SiCボートは炭化ケイ素ボートです。 炉心管には炭化ケイ素ボートが使用されており、高温アクセサリの高温処理のためにウェーハが装填されています。 炭化ケイ素だから…