多孔質セラミックスチャックは、ナノ多孔質真空チャックとも呼ばれ、特殊なナノパウダー製造プロセスによって生成される均一な固体または真空の球体を指します。
ただし、EUV リソグラフィー用のフォトレジスト メーカーはさらに増えるでしょう。 しかし現時点では、市場は日本企業が独占している。