ウェーハ製造業界は、あらゆる工業製造の中で最も自動化が進んでいる業界であり、私個人としては、自動化が進んでいる業界はないと考えています。
SiC エピタキシャル層の高品質な結晶品質の特性により、信頼性を確保するには、エピタキシャル層は高純度で欠陥密度の低い結晶構造を持つ必要があります。