半導体製造は現代の科学技術発展の基礎であり、業界はより小型、より高速、より効率的な集積回路を継続的に追求しています。
SiCボートは炭化ケイ素ボートです。 炉心管には炭化ケイ素ボートが使用されており、高温アクセサリの高温処理のためにウェーハが装填されています。 炭化ケイ素だから…