SiC エピタキシャル層の高品質な結晶品質の特性により、信頼性を確保するには、エピタキシャル層は高純度で欠陥密度の低い結晶構造を持つ必要があります。
ジルコニアセラミックス(ZrO2)は、高融点、高硬度、耐摩耗性に優れ、常温および高温の絶縁体として...