SiC エピタキシャル層の高品質な結晶品質の特性により、信頼性を確保するには、エピタキシャル層は高純度で欠陥密度の低い結晶構造を持つ必要があります。
精密セラミック材料には、さまざまな性能要件に応じてさまざまな加工方法があります。 現在、主な加工方法としては、機械加工、電気加工などが挙げられます。