多孔質セラミックスチャックは、ナノ多孔質真空チャックとも呼ばれ、特殊なナノパウダー製造プロセスによって生成される均一な固体または真空の球体を指します。
半導体産業チェーン、特に第 3 世代半導体 (ワイドバンドギャップ半導体) 産業チェーンでは、基板とエピタキシャル層が存在しますが、その重要性は何でしょうか。