集積回路製造の主要な技術と装置には、主にリソグラフィー技術とリソグラフィー装置、膜成長技術と装置、化学機械プロセスが含まれます。
アルミナセラミックスは、アルミナ(Al2O3)を主体とした厚膜集積回路用セラミック材料です。