高純度グラファイトは、高温耐性、良好な電気伝導性、化学的安定性を備えており、半導体分野の重要な材料となっています。
多孔質セラミックスチャックは、ナノ多孔質真空チャックとも呼ばれ、特殊なナノパウダー製造プロセスによって生成される均一な固体または真空の球体を指します。