レーザーはウェーハ上に焦点を合わせ、光スポットを照射し、反射光は受光面上で再焦点合わせされ、光の分析を通じてシリコンウェーハの表面が...
集積回路製造の主要な技術と装置には、主にリソグラフィー技術とリソグラフィー装置、膜成長技術と装置、化学機械プロセスが含まれます。