セラミック エンド エフェクター (セラミック ロボット アーム) は、半導体プロセスの生産全体を通じてシリコン ウェーハを操作および搬送するために使用されます。 大きなウェーハを処理することができ、...
炭化ケイ素セラミックスは、その独特の物理的および化学的特性により、半導体/集積回路製造装置において重要な役割を果たしています。