ウェーハ吸着技術は、一見些細なように見えますが、重要なつながりです。 エッチング、蒸着、リソグラフィーのいずれの場合でも、効率的な処理を確保するには、ウェーハを正しい位置に安定かつ正確に固定する必要があります。
セラミック材料とは、高温で形成および焼結することによって天然または合成化合物から作られる無機非金属材料の一種を指します。 高融点という利点があります。
