リソグラフィー技術は、写真技術やフラットプリンティング技術をベースに発展した半導体の基幹技術です。
エピタキシーとは、マイクロエレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクスの製造プロセスにおいて極めて重要な位置を占める結晶成長または材料堆積技術を指します。