ウェーハ吸着技術は、一見些細なように見えますが、重要なつながりです。 エッチング、蒸着、リソグラフィーのいずれの場合でも、効率的な処理を確保するには、ウェーハを正しい位置に安定かつ正確に固定する必要があります。
レーザーはウェーハ上に焦点を合わせ、光スポットを照射し、反射光は受光面上で再焦点合わせされ、光の分析を通じてシリコンウェーハの表面が...
