ウェーハ吸着技術は、一見些細なように見えますが、重要なつながりです。 エッチング、蒸着、リソグラフィーのいずれの場合でも、効率的な処理を確保するには、ウェーハを正しい位置に安定かつ正確に固定する必要があります。
多孔質セラミック材料は気孔の大きさによって異なります。 超微細孔セラミックや極めて小さい孔の場合、孔径は分子直径の数倍になります。 吸着中...