現在、国内の真空半導体部品は約 3 ~ 5 年前の国内半導体装置の開発段階に相当しており、さまざまな部品の国内サプライヤーがいくつかあります。
近年、世界的にウェーハの需給バランスが崩れており、200mmウェーハの品薄状態は数年続くことが予想されています。