Ngarep
Bahan
Silicon carbide digunakake kanggo bagean tahan karat, bagean segel, bagean tahan suhu dhuwur, ril guide lan balok kothak
Keramik silikon karbida duweni sifat mekanik sing apik banget ing suhu normal, kayata kekuatan dhuwur, kekerasan dhuwur, modulus elastis sing dhuwur, stabilitas suhu dhuwur banget, kayata konduktivitas termal sing dhuwur, koefisien ekspansi termal sing kurang, lan kaku spesifik sing apik lan sifat pangolahan optik, utamane cocok kanggo nyiapake mesin fotolitografi lan peralatan sirkuit terpadu liyane kanggo bagean struktur keramik presisi. Kayata digunakake ing mesin photolithography tliti obah workpiece Tabel, balung, cangkir nyedhot, banyu-digawe adhem plate lan tliti Takeran pangilon, grating lan bagean struktur Keramik liyane, Fountyl materi anyar sawise taun riset technical, ngatasi ukuran gedhe, tembok lancip, struktur kothong lan liyane Komplek saka silikon carbide bagean struktural Processing tliti lan masalah preparation, bejat liwat bottleneck technical jinis tliti silikon karbida struktural teknologi preparation. Iku wis nemen dipun lokalisasi bagean struktural tombol digunakake ing peralatan manufaktur sirkuit terpadu.
● Keramik silikon karbida utamane kalebu karbida silikon sintering tanpa tekanan (SSiC), silikon karbida reaksi-sinter (RBSC), karbida silikon deposisi uap kimia (CVD-SiC).
● Silicon carbide nduweni macem-macem sifat banget: super hard, nyandhang resistance, konduktivitas termal dhuwur lan kekuatan mechanical, koefisien expansion termal kurang, stabilitas termal banget, Kapadhetan kurang, kaku tartamtu dhuwur, non-magnetik.
● Saiki, keramik karbida silikon ditrapake ing macem-macem industri kayata penerbangan, aerospace lan industri nuklir, kayata bagean keramik saka peralatan dhuwur-mburi kanggo reflektor keramik silikon karbida lan manufaktur sirkuit terpadu IC, penukar panas lan bahan anti peluru ing kondisi sing ekstrim.
Fitur bagean struktur keramik presisi kanggo peralatan manufaktur sirkuit terpadu:
① Highly entheng: Supaya kanggo ngurangi inersia gerakan, ngurangi beban motor, nambah efficiency gerakan, akurasi posisi lan stabilitas, bagean struktural umume nggunakake desain struktur entheng, tingkat entheng punika 60-80%, nganti 90%;
② Akurasi posisi-bentuk sing dhuwur: Kanggo nggayuh gerakan lan posisi kanthi tliti dhuwur, bagean-bagean struktur kudu duwe akurasi posisi lan posisi sing dhuwur banget, flatness, paralelisme lan perpendicularity kudu kurang saka 1μm, lan wangun lan akurasi posisi dibutuhake kurang saka 5μm.
③ Stabilitas dimensi dhuwur: Kanggo entuk gerakan lan posisi kanthi tliti dhuwur, bagean struktural kudu duwe stabilitas dimensi sing dhuwur banget, ora ngasilake galur, lan konduktivitas termal sing dhuwur, koefisien ekspansi termal sing kurang, ora gampang ngasilake deformasi dimensi sing gedhe. ;
④ Resik lan bebas polusi. Bagean struktur kudu duwe koefisien gesekan sing sithik banget, mundhut energi kinetik cilik sajrone gerakan, lan ora ana polusi partikel mecah. Bahan silikon karbida nduweni modulus elastis sing dhuwur banget, konduktivitas termal lan koefisien ekspansi termal sing kurang, ora gampang ngasilake deformasi kaku mlengkung lan galur termal, lan nduweni polishability banget, bisa machined kanggo pangilon banget; Mulane, nduweni kaluwihan gedhe kanggo nggunakake silikon karbida minangka bahan struktural tliti kanggo peralatan kunci sirkuit terpadu kayata mesin fotolitografi, Silicon karbida nduweni kaluwihan stabilitas kimia sing apik, kekuatan mekanik sing dhuwur, konduktivitas termal sing dhuwur lan koefisien ekspansi termal sing kurang, lan bisa ditrapake ing suhu dhuwur, tekanan dhuwur, karat lan radiasi ing lingkungan sing ekstrem.
Silicon carbide nduweni kaluwihan saka stabilitas kimia apik, kekuatan mechanical dhuwur, konduktivitas termal dhuwur lan koefisien expansion termal kurang, lan bisa Applied ing suhu dhuwur, meksa dhuwur, karat lan radiation saka lingkungan nemen.
Peralatan utama sirkuit terpadu mbutuhake bahan komponen nduweni karakteristik bobot entheng, kekuatan dhuwur, konduktivitas termal sing dhuwur lan koefisien ekspansi termal sing kurang, lan kandhel lan seragam tanpa cacat. Komponen kudu nduweni akurasi dimensi lan stabilitas dimensi sing dhuwur banget kanggo njamin gerakan lan kontrol peralatan kanthi presisi ultra. Keramik silikon karbida duwe modulus elastis sing dhuwur lan kaku spesifik, ora gampang deformasi, lan nduweni konduktivitas termal sing dhuwur lan koefisien ekspansi termal sing kurang, stabilitas termal sing dhuwur, mula keramik silikon karbida minangka bahan struktural sing apik banget, saiki ana ing manufaktur sirkuit terpadu. peralatan kunci kanggo entuk macem-macem aplikasi, kayata mesin litografi kanthi meja kerja silikon karbida, rel pandhuan, reflektor, chuck keramik, lan efektor mburi keramik.
Fountyl bisa ketemu mesin photolithography minangka wakil saka sirkuit terpadu manufaktur peralatan tombol karo ukuran gedhe, tembok lancip kothong, struktur Komplek, tliti silikon karbida struktural teknologi preparation, kayata: silikon carbide vakum Chuck, guide alur, reflektor, meja kerja lan seri bagean struktural silikon karbida presisi kanggo mesin fotolitografi.
| Properti | Fountyl | ||
| Kapadhetan (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| Modulus Young (GPa) | 368 | ||
| Kekuatan lentur (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100 ℃ | 2.8×10-6 | |
| 400 ℃ | 3.6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4.2×10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4.6×10-6 | ||
| Konduktivitas Termal (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| rasio Poisson | 0.187 | ||
| Modulus geser (GPa) | 155 | ||