მთავარი
მასალები
0102030405
სილიციუმის კარბიდი გამოიყენება კოროზიისადმი მდგრადი ნაწილებისთვის, დალუქვის ნაწილებისთვის, მაღალ ტემპერატურაზე მდგრადი ნაწილებისთვის, სახელმძღვანელო რელსებისთვის და კვადრატული სხივებისთვის
სილიციუმის კარბიდის კერამიკას აქვს შესანიშნავი მექანიკური თვისებები ნორმალურ ტემპერატურაზე, როგორიცაა მაღალი სიმტკიცე, მაღალი სიმტკიცე, მაღალი ელასტიურობის მოდული, შესანიშნავი მაღალი ტემპერატურის სტაბილურობა, როგორიცაა მაღალი თბოგამტარობა, დაბალი თერმული გაფართოების კოეფიციენტი და კარგი სპეციფიკური სიხისტე და ოპტიკური დამუშავების თვისებები, განსაკუთრებით შესაფერისი ზუსტი კერამიკული სტრუქტურული ნაწილებისთვის ფოტოლითოგრაფიული მანქანის და სხვა ინტეგრირებული მიკროსქემის აღჭურვილობის დასამზადებლად. როგორც გამოიყენება ფოტოლითოგრაფიის მანქანაში ზუსტი მოძრავი სამუშაო ნაწილის მაგიდა, ჩონჩხი, შეწოვის თასი, წყლით გაგრილებული ფირფიტა და ზუსტი საზომი სარკე, ღვეზელი და სხვა კერამიკული სტრუქტურული ნაწილები, ფუნტილის ახალი მასალა წლების ტექნიკური კვლევის შემდეგ, გადაჭრის დიდი ზომის, თხელი კედელი, სილიციუმის კარბიდის სტრუქტურული ნაწილების ღრუ და სხვა რთული სტრუქტურის სიზუსტის დამუშავებისა და მომზადების პრობლემები, არღვევს ამ სახის ზუსტი სილიციუმის კარბიდის სტრუქტურული ნაწილების მომზადების ტექნოლოგიის ტექნიკური ბარიერის გარღვევას. მან მნიშვნელოვნად შეუწყო ხელი ინტეგრირებული მიკროსქემის წარმოების აღჭურვილობაში გამოყენებული ძირითადი სტრუქტურული ნაწილების ლოკალიზაციას.
● სილიციუმის კარბიდის კერამიკული ნაწარმი ძირითადად მოიცავს უწნეო აგლომერირებელ სილიციუმის კარბიდს (SSiC), რეაქციაში შედუღებულ სილიციუმის კარბიდს (RBSC), ქიმიურ ორთქლის დეპონირების სილიციუმის კარბიდს (CVD-SiC).
● სილიციუმის კარბიდს აქვს მრავალი შესანიშნავი თვისება: სუპერ მყარი, აცვიათ წინააღმდეგობა, მაღალი თბოგამტარობა და მექანიკური სიმტკიცე, დაბალი თერმული გაფართოების კოეფიციენტი, შესანიშნავი თერმული სტაბილურობა, დაბალი სიმკვრივე, მაღალი სპეციფიკური სიმტკიცე, არამაგნიტური.
● ამჟამად, სილიციუმის კარბიდის კერამიკა გამოიყენება სხვადასხვა ინდუსტრიებში, როგორიცაა ავიაცია, აერონავტიკა და ბირთვული ინდუსტრია, როგორიცაა სილიციუმის კარბიდის კერამიკული რეფლექტორის მაღალი დონის აღჭურვილობის კერამიკული ნაწილები და IC ინტეგრირებული მიკროსქემის წარმოება, სითბოს გადამცვლელები და ტყვიაგაუმტარი მასალები ექსტრემალურ პირობებში.
ზუსტი კერამიკული სტრუქტურული ნაწილების მახასიათებლები ინტეგრირებული მიკროსქემის წარმოების აღჭურვილობისთვის:
① უაღრესად მსუბუქი: მოძრაობის ინერციის შესამცირებლად, ძრავის დატვირთვის შესამცირებლად, მოძრაობის ეფექტურობის გასაუმჯობესებლად, პოზიციონირების სიზუსტით და სტაბილურობით, სტრუქტურული ნაწილები ზოგადად იყენებენ მსუბუქი სტრუქტურის დიზაინს, მსუბუქი წონის მაჩვენებელი 60-80%, 90% -მდე;
② ფორმის პოზიციის მაღალი სიზუსტე: მაღალი სიზუსტის მოძრაობისა და განლაგების მისაღწევად, სტრუქტურულ ნაწილებს უნდა ჰქონდეთ უკიდურესად მაღალი ფორმისა და პოზიციის სიზუსტე, სიბრტყე, პარალელიზმი და პერპენდიკულარულობა უნდა იყოს 1μm-ზე ნაკლები, ხოლო ფორმა და პოზიციის სიზუსტე საჭიროა 5μm-ზე ნაკლები.
③ მაღალი განზომილებიანი სტაბილურობა: მაღალი სიზუსტის მოძრაობისა და განლაგების მისაღწევად, სტრუქტურულ ნაწილებს უნდა ჰქონდეთ უკიდურესად მაღალი განზომილებიანი სტაბილურობა, არ წარმოქმნან დაძაბულობა და მაღალი თბოგამტარობა, დაბალი თერმული გაფართოების კოეფიციენტი, არ არის ადვილი წარმოქმნას დიდი განზომილებიანი დეფორმაცია. ;
④ სუფთა და დაბინძურების გარეშე. სტრუქტურულ ნაწილებს უნდა ჰქონდეთ უკიდურესად დაბალი ხახუნის კოეფიციენტი, მცირე კინეტიკური ენერგიის დანაკარგი მოძრაობის დროს და არ იყოს დაფქვილი ნაწილაკების დაბინძურება. სილიციუმის კარბიდის მასალას აქვს ძალიან მაღალი ელასტიურობის მოდული, თერმული კონდუქტომეტრი და დაბალი თერმული გაფართოების კოეფიციენტი, არ არის ადვილი მოსახვევი სტრესის დეფორმაციისა და თერმული დაძაბვის წარმოქმნა და აქვს შესანიშნავი გაპრიალება, შეიძლება დამუშავდეს შესანიშნავ სარკეში; ამიტომ, მას აქვს დიდი უპირატესობები სილიციუმის კარბიდის, როგორც ზუსტი სტრუქტურული მასალის გამოყენება ინტეგრირებული სქემების ძირითადი აღჭურვილობისთვის, როგორიცაა ფოტოლითოგრაფიული მანქანა. და შეიძლება გამოყენებულ იქნას მაღალი ტემპერატურის, მაღალი წნევის, კოროზიის და ექსტრემალური გარემოს რადიაციის დროს.
სილიციუმის კარბიდს აქვს კარგი ქიმიური სტაბილურობის, მაღალი მექანიკური სიძლიერის, მაღალი თერმული კონდუქტომეტრის და დაბალი თერმული გაფართოების კოეფიციენტის უპირატესობები და შეიძლება გამოყენებულ იქნას ექსტრემალურ გარემოში მაღალ ტემპერატურაზე, მაღალ წნევაზე, კოროზიასა და გამოსხივებაში.
ინტეგრირებული მიკროსქემის ძირითადი აღჭურვილობა მოითხოვს, რომ კომპონენტ მასალებს ჰქონდეთ მსუბუქი წონის, მაღალი სიძლიერის, მაღალი თბოგამტარობის და დაბალი თერმული გაფართოების კოეფიციენტის მახასიათებლები და იყოს მკვრივი და ერთგვაროვანი დეფექტების გარეშე. კომპონენტებს უნდა ჰქონდეთ ძალიან მაღალი განზომილებიანი სიზუსტე და განზომილებიანი სტაბილურობა, რათა უზრუნველყონ აღჭურვილობის ულტრა სიზუსტის მოძრაობა და კონტროლი. სილიციუმის კარბიდის კერამიკას აქვს მაღალი ელასტიურობის მოდული და სპეციფიკური სიმტკიცე, არ არის ადვილი დეფორმირება და აქვს მაღალი თერმული კონდუქტომეტრი და დაბალი თერმული გაფართოების კოეფიციენტი, მაღალი თერმული სტაბილურობა, ამიტომ სილიციუმის კარბიდის კერამიკა არის შესანიშნავი სტრუქტურული მასალა, ამჟამად ინტეგრირებული მიკროსქემის წარმოებაში. ძირითადი აღჭურვილობა გამოყენების ფართო სპექტრის მისაღებად, როგორიცაა ლითოგრაფიული მანქანა სილიციუმის კარბიდის სამუშაო მაგიდით, გზამკვლევი რელსით, რეფლექტორით, კერამიკული ჩაკით და კერამიკული ბოლო ეფექტით.
Fountyl შეიძლება შეხვდეს ფოტოლითოგრაფიის მანქანას, როგორც ინტეგრირებული მიკროსქემის წარმოების საკვანძო აღჭურვილობის წარმომადგენელს დიდი ზომის, ღრუ თხელი კედლით, რთული სტრუქტურით, სილიკონის კარბიდის სტრუქტურული ნაწილების ზუსტი მომზადების ტექნოლოგიით, როგორიცაა: სილიკონის კარბიდის ვაკუუმ ჩაკი, სახელმძღვანელო რელსი, რეფლექტორი, სამუშაო მაგიდა. და სილიციუმის კარბიდის ზუსტი სტრუქტურული ნაწილების სერია ფოტოლითოგრაფიის აპარატისთვის.
| Თვისებები | ფუნტილი | ||
| სიმკვრივე (გ/სმ3) | 2.98-3.02 | ||
| იანგის მოდული (GPa) | 368 | ||
| მოქნილობის სიმტკიცე (MPa) | 334 | ||
| ვეიბული | 8.35 | ||
| CTE (× 10-6 / ℃) | 100℃ | 2.8×10-6 | |
| 400℃ | 3.6×10-6 | ||
| 800℃ | 4.2×10-6 | ||
| 1000℃ | 4.6×10-6 | ||
| თბოგამტარობა (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 წწ | ||
| საწამლავის სიძლიერე | 0.187 | ||
| ათვლის მოდული (GPa) | 155 | ||