Silicon carbide ប្រើសម្រាប់ផ្នែកដែលធន់នឹងការ corrosion, ផ្នែកផ្សាភ្ជាប់, ផ្នែកដែលធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់, ផ្លូវដែកណែនាំ និងធ្នឹមការ៉េ

សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបូនមានលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិកល្អឥតខ្ចោះនៅសីតុណ្ហភាពធម្មតា ដូចជាកម្លាំងខ្ពស់ ភាពរឹងខ្ពស់ ម៉ូឌុលបត់បែនខ្ពស់ ស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដូចជាចរន្តកំដៅខ្ពស់ មេគុណពង្រីកកំដៅទាប និងភាពរឹងជាក់លាក់ល្អ និងលក្ខណៈសម្បត្តិដំណើរការអុបទិក ជាពិសេសសមរម្យ។ សម្រាប់ការរៀបចំម៉ាស៊ីន photolithography និងឧបករណ៍សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាផ្សេងទៀតសម្រាប់ផ្នែករចនាសម្ព័ន្ធសេរ៉ាមិចដែលមានភាពជាក់លាក់។ ដូចជាបានប្រើក្នុងម៉ាស៊ីន photolithography ភាពជាក់លាក់ផ្លាស់ទីតុ workpiece គ្រោងឆ្អឹង ពែងបូមទឹក ចានត្រជាក់ និងកញ្ចក់វាស់ភាពជាក់លាក់ grating និងផ្នែករចនាសម្ព័ន្ធសេរ៉ាមិចផ្សេងទៀត Fountyl សម្ភារៈថ្មីបន្ទាប់ពីការស្រាវជ្រាវបច្ចេកទេសជាច្រើនឆ្នាំ ដោះស្រាយទំហំធំ ជញ្ជាំងស្តើង។ ប្រហោង និងរចនាសម្ព័ន្ធស្មុគ្រស្មាញផ្សេងទៀតនៃផ្នែករចនាសម្ព័ន្ធស៊ីលីកុន កាប៊ីត ភាពជាក់លាក់នៃដំណើរការ និងបញ្ហារៀបចំ ការទម្លុះបញ្ហាបច្ចេកទេសនៃបច្ចេកវិទ្យានៃការរៀបចំផ្នែករចនាសម្ព័ន្ធស៊ីលីកុនកាបៃដ៏ជាក់លាក់នេះ។ វាបានលើកកម្ពស់យ៉ាងខ្លាំងដល់ការធ្វើមូលដ្ឋានីយកម្មនៃផ្នែករចនាសម្ព័ន្ធសំខាន់ៗដែលប្រើក្នុងឧបករណ៍ផលិតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា។

បច្ចេកវិជ្ជា និងឧបករណ៍សំខាន់ៗនៃការផលិតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាជាចម្បងរួមមាន បច្ចេកវិទ្យា lithography និងឧបករណ៍ lithography បច្ចេកវិទ្យា និងឧបករណ៍កំណើនខ្សែភាពយន្ត បច្ចេកវិទ្យាប៉ូលាមេកានិកគីមី និងឧបករណ៍ បច្ចេកវិទ្យា និងឧបករណ៍ក្រោយការវេចខ្ចប់ដង់ស៊ីតេខ្ពស់ ល ទាំងអស់ពាក់ព័ន្ធនឹងបច្ចេកវិទ្យាគ្រប់គ្រងចលនា និងដ្រាយ។ បច្ចេកវិទ្យាជាមួយនឹងប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ និងស្ថេរភាពខ្ពស់ ដែលផ្តល់នូវតម្រូវការខ្ពស់សម្រាប់ភាពត្រឹមត្រូវនៃផ្នែករចនាសម្ព័ន្ធ និងការអនុវត្តសម្ភារៈរចនាសម្ព័ន្ធ។ យកតារាង workpiece នៅក្នុងម៉ាស៊ីន lithography ជាឧទាហរណ៍ តារាង workpiece ទទួលខុសត្រូវជាចម្បងសម្រាប់ការបញ្ចប់ចលនា exposure ដែលតម្រូវឱ្យមានការសម្រេចបាននូវល្បឿនលឿន ការដាច់សរសៃឈាមខួរក្បាលធំ និងប្រាំមួយដឺក្រេនៃសេរីភាពនៃចលនា ultra-precision កម្រិតណាណូ។