리소그래피 기술은 사진 기술과 평판 인쇄 기술을 바탕으로 개발된 반도체 핵심 기술이다.
정전척(ESC, e-Chuck)이라고도 불리는 정전흡착기는 정전흡착의 원리를 이용하여 흡착물체를 흡착 고정하는 고정구로, 정전기 척(ESC, e-Chuck)에 적합합니다.