다공성 세라믹 척은 나노 다공성 진공 척이라고도 불리며, 특수한 나노 분말 제조 공정으로 생산된 균일한 고체 또는 진공 구를 말하며, 많은 수의 세라믹 척이 사용됩니다.
팹의 모든 공정이 완료된 후 웨이퍼의 보관 및 운송에 대한 특별한 요구 사항은 무엇입니까? 특별한 환경 포장이 필요합니까?
