세라믹 엔드 이펙터(세라믹 로봇 팔)는 반도체 공정 생산 전반에 걸쳐 실리콘 웨이퍼를 작동하고 운반하는 데 사용됩니다. 대형 웨이퍼를 처리할 수 있으며...
진공은 반도체 제조에서 매우 중요하며, 반도체 산업에서는 다양한 공정에서 진공 환경이 사용됩니다. 진공 환경에는 PVD(물리적 기상 증착), 화학적 V증착(Chemical Vapor Deposition) 등이 포함됩니다.