최근 몇 년간 전 세계적으로 웨이퍼 수급이 불균형해 200mm 웨이퍼 부족 사태가 수년간 계속될 전망이다.
정전척(ESC, e-Chuck)이라고도 불리는 정전흡착기는 정전흡착의 원리를 이용하여 흡착물체를 흡착 고정하는 고정구로, 정전기 척(ESC, e-Chuck)에 적합합니다.
