반도체 제조의 핵심 단계인 웨이퍼 스크라이빙은 칩의 품질과 출력에 직접적인 영향을 미칩니다.
정전척(ESC, e-Chuck)이라고도 불리는 정전흡착기는 정전흡착의 원리를 이용하여 흡착물체를 흡착 고정하는 고정구로, 정전기 척(ESC, e-Chuck)에 적합합니다.