반도체 및 광전자 산업에서는 일반적으로 매우 얇은 웨이퍼를 고급 세라믹 통기성 척에 놓고 진공 발생기에 부착한 후 진공 흡입으로 고정합니다. 파운틸 티...
수소 기반 플라즈마로 전환하면 GaN 기판의 고속 에칭이 보장되며, 일본 오사카 대학의 엔지니어들은 질화갈륨(GaN)을 얇게 만드는 데 새로운 돌파구를 마련했다고 주장합니다.
