탄화규소 세라믹은 고유한 물리적, 화학적 특성으로 인해 반도체/집적 회로 제조 장비에서 중요한 역할을 합니다.
집적 회로 제조의 핵심 기술 및 장비에는 주로 리소그래피 기술 및 리소그래피 장비, 필름 성장 기술 및 장비, 화학 기계적 폴리싱이 포함됩니다.
