SiC 에피택셜 층의 고품질 결정 품질 특성으로 인해 에피택셜 층은 신뢰성을 보장하기 위해 순도가 높고 결함 밀도가 낮은 결정 구조를 가져야 합니다.
집적 회로 제조의 핵심 기술 및 장비에는 주로 리소그래피 기술 및 리소그래피 장비, 필름 성장 기술 및 장비, 화학 기계적 폴리싱이 포함됩니다.
