고온 저항, 내마모성, 내식성, 높은 경도, 높은 정밀도 및 금속과 플라스틱에는 없는 기타 장점을 갖춘 특수 세라믹으로 인해...
EUV의 장점 중 하나는 칩 처리 단계가 단축된다는 점인데, 기존 다중 노출 기술 대신 EUV를 사용하면 증착, 식각, 공정 단계가 크게 단축됩니다.
