다공성 세라믹 척은 나노 다공성 진공 척이라고도 불리며, 특수한 나노 분말 제조 공정으로 생산된 균일한 고체 또는 진공 구를 말하며, 많은 수의 세라믹 척이 사용됩니다.
리소그래피 기술은 사진 기술과 평판 인쇄 기술을 바탕으로 개발된 반도체 핵심 기술이다.
