정전척(ESC, e-Chuck)이라고도 불리는 정전흡착기는 정전흡착의 원리를 이용하여 흡착물체를 흡착 고정하는 고정구로, 정전기 척(ESC, e-Chuck)에 적합합니다.
세라믹 재료는 천연 또는 합성 화합물을 고온에서 성형 및 소결하여 만든 무기 비금속 재료의 일종을 말합니다. 그것은 높은 용융점의 장점을 가지고 있습니다 ...