반도체 산업 사슬, 특히 3세대 반도체(와이드 밴드 갭 반도체) 산업 사슬에서 기판과 에피택셜 층이 있는데, 그 의미는 무엇입니까?
플라즈마는 1879년 William Crookes에 의해 처음 발견되었으며 1929년 Irving Langmuir에 의해 "플라즈마"라고 명명되었습니다. 칩 제조에 플라즈마를 적용하는 것은 매우 일반적이고 중요합니다.
