정전척(ESC, e-Chuck)이라고도 불리는 정전흡착기는 정전흡착의 원리를 이용하여 흡착물체를 흡착 고정하는 고정구로, 정전기 척(ESC, e-Chuck)에 적합합니다.
테스트는 기능과 수율을 보장하는 중요한 수단입니다. 칩 테스트는 두 가지 주요 부분으로 나눌 수 있습니다. CP(칩 프로버링) 및 FT(최종 테스트). 일부 칩은 SLT(시스템 수준 테스트)도 수행합니다. ...
