전체 반도체 제조 공정은 매우 흔하고 필수인데, 어떤 용도로 사용되나요?
SiC 보트는 탄화규소 보트입니다. 실리콘 카바이드 보트는 고온 액세서리의 고온 처리를 위해 웨이퍼가 장착된 퍼니스 튜브에 사용됩니다. 탄화규소 때문에...
