웨이퍼 제조 공정에서 웨이퍼는 특정 온도까지 가열되어야 하며 웨이퍼 온도 균일성은 매우 엄격한 요구 사항을 갖습니다.
알루미나 세라믹은 후막집적회로용 알루미나(Al2O3)를 본체로 한 세라믹 소재입니다.
