현재 국내 진공반도체 부품은 약 3~5년 전 국내 반도체 장비 개발 단계와 맞먹고 있으며, 다양한 부품을 국내 여러 공급업체가 공급하고 있다.
플라즈마는 1879년 William Crookes에 의해 처음 발견되었으며 1929년 Irving Langmuir에 의해 "플라즈마"라고 명명되었습니다. 칩 제조에 플라즈마를 적용하는 것은 매우 일반적이고 중요합니다.
