반도체 공정 전체는 반복적인 세정이 필요하며, 세정 공정은 반도체 산업 전반에 걸쳐 진행되며 전체 생산 공정의 30% 이상을 차지합니다.
반도체 산업 사슬, 특히 3세대 반도체(와이드 밴드 갭 반도체) 산업 사슬에서 기판과 에피택셜 층이 있는데, 그 의미는 무엇입니까?
