10년 넘게 침지 리소그래피는 반도체 제조의 주요 노광 기술이었습니다.
박막증착(Thin Film Deposition)은 기판 위에 나노 크기의 필름을 증착한 후 에칭, 폴리싱 등의 공정을 반복하여 전도성 또는 절연성 필름을 많이 적층하는 공정입니다.