정전척(ESC, e-Chuck)이라고도 불리는 정전흡착기는 정전흡착의 원리를 이용하여 흡착물체를 흡착 고정하는 고정구로, 정전기 척(ESC, e-Chuck)에 적합합니다.
에피택시는 마이크로 전자공학 및 광전자공학 제조 공정에서 매우 중요한 위치를 차지하는 결정 성장 또는 재료 증착 기술을 의미합니다.