10년 넘게 침지 리소그래피는 반도체 제조의 주요 노광 기술이었습니다.
정전척(ESC, e-Chuck)이라고도 불리는 정전흡착기는 정전흡착의 원리를 이용하여 흡착물체를 흡착 고정하는 고정구로, 정전기 척(ESC, e-Chuck)에 적합합니다.