다공성 세라믹 척은 나노 다공성 진공 척이라고도 불리며, 특수한 나노 분말 제조 공정으로 생산된 균일한 고체 또는 진공 구를 말하며, 많은 수의 세라믹 척이 사용됩니다.
10년 넘게 침지 리소그래피는 반도체 제조의 주요 노광 기술이었습니다.