웨이퍼 제조 공정에서 웨이퍼는 특정 온도까지 가열되어야 하며 웨이퍼 온도 균일성은 매우 엄격한 요구 사항을 갖습니다.
SiC 보트는 탄화규소 보트입니다. 실리콘 카바이드 보트는 고온 액세서리의 고온 처리를 위해 웨이퍼가 장착된 퍼니스 튜브에 사용됩니다. 탄화규소 때문에...
