ASML은 1984년 4월 1일 ASM Lithography로 설립되었습니다. 필립스와 ASM International의 이번 합작 회사의 사명은 필립스가 개발한 웨이퍼 스테퍼인 PAS 2000을 상용화하는 것입니다.
웨이퍼 슬라이싱(절단)은 단일 웨이퍼를 여러 개의 독립적인 칩("다이")으로 절단하는 과정을 의미합니다.
