탄화규소(SiC)는 넓은 밴드갭, 높은 기계적 강도 및 높은 열전도성으로 인해 전자 산업에서 실리콘(Si) 기반 반도체의 대체 재료로 간주됩니다.
10년 넘게 침지 리소그래피는 반도체 제조의 주요 노광 기술이었습니다.
