정전척(ESC, e-Chuck)이라고도 불리는 정전흡착기는 정전흡착의 원리를 이용하여 흡착물체를 흡착 고정하는 고정구로, 정전기 척(ESC, e-Chuck)에 적합합니다.
EUV 리소그래피용 포토레지스트 제조업체는 더 많아질 것입니다. 그러나 현재 시장은 일본 기업이 장악하고 있다.
