세라믹 코팅은 고온 저항, 내마모성 및 내식성 등의 장점을 유지할 뿐만 아니라 무기 비금속 코팅의 일종을 가리키는 일반적인 용어입니다.
EUV의 장점 중 하나는 칩 처리 단계가 단축된다는 점인데, 기존 다중 노광 기술 대신 EUV를 사용하면 증착, 식각, 공정 단계가 크게 단축됩니다.