EUV의 장점 중 하나는 칩 처리 단계가 단축된다는 점인데, 기존 다중 노광 기술 대신 EUV를 사용하면 증착, 식각, 공정 단계가 크게 단축됩니다.
반도체 제조의 핵심 단계인 웨이퍼 스크라이빙은 칩의 품질과 출력에 직접적인 영향을 미칩니다.