웨이퍼 상자에는 왜 25개의 웨이퍼가 들어있나요?

하나의 웨이퍼 상자에는 다음과 같은 몇 가지 주요 이유 때문에 25개의 웨이퍼가 로드됩니다.

1, 생산 효율성과 장비 활용도를 최적화합니다.

2, 무게와 부피가 관리 가능한 범위 내에 있는지 확인하십시오.

3, 자동 처리 및 처리 요구 사항을 충족합니다.

4, 업계 표준과 역사적 관행을 충족합니다.

이 설계는 생산, 취급, 취급 및 경제성 요구 사항의 균형을 유지하여 12인치 웨이퍼 제조 공정을 효율적이고 안정적으로 만듭니다. 아래에서 자세히 설명해주세요

1, 웨이퍼 크기 및 하중 운반 능력

웨이퍼 크기: 12인치 웨이퍼의 직경은 약 300mm입니다.

웨이퍼 두께: 약 0.775mm.

2. FOUP 설계기준

크기와 무게: FOUP는 취급 및 운송을 용이하게 하기 위해 크기와 무게 사이의 균형을 찾아야 합니다.

3. 프로세스 및 효율성 고려사항

표준화: 12인치 웨이퍼 제조 공정이 광범위하게 표준화되었으며, 25개의 웨이퍼를 일괄 처리하여 생산 효율성과 장비 활용을 최적화할 수 있습니다.

자동화된 처리: FOUP는 25개의 웨이퍼 용량으로 설계되어 자동화된 장비가 이러한 배치를 효율적으로 처리할 수 있도록 하여 생산 효율성을 높입니다.

적재 및 취급 용이성: 웨이퍼 25개의 무게는 합리적인 범위 내에 있어 로봇이나 작업자가 쉽게 운반할 수 있으며 기계 장비의 운반 능력을 초과하지 않습니다.

4. 경제성과 신뢰성

장비 호환성: 대부분의 제조 장비(예: 노광기, 에칭 기계 등)는 25개의 웨이퍼 배치를 처리하도록 설계되어 장비 활용도를 극대화하고 생산 효율성을 향상시킬 수 있습니다.

안정성 및 안전성: 25개의 웨이퍼가 장착된 FOUP는 취급 시 안정성이 뛰어나 취급 시 웨이퍼 손상 위험을 줄입니다.

5. 역사적 이유와 업계 관행

업계 관행: 역사적으로 웨이퍼 제조 산업은 점차 소형 웨이퍼(예: 6인치, 8인치)에서 12인치 웨이퍼로 전환해 왔습니다. 이 프로세스에서는 다양한 웨이퍼 크기 간의 연속성과 예측 가능성을 유지하기 위해 25개 배치가 업계 표준이 되었습니다.

기술 표준: SEMI(국제 반도체 장비 재료 협회)는 FOUP의 설계 및 사용을 지정하는 관련 표준을 개발했으며, 25개 로드의 설계는 이러한 표준을 충족하며 전 세계적으로 널리 채택됩니다.

웨이퍼 캐리어 용어(FOUP, FOSB, Cassette)에 대해 자세히 알아보세요.

1. 전면 개방형 통합 포드(FOUP)

FOUP는 팹에서 웨이퍼, 특히 300mm 웨이퍼를 취급하고 보관하기 위한 컨테이너입니다. 취급 중 웨이퍼의 오염과 손상을 줄이도록 설계되었습니다. FOUP에는 전체 컨테이너를 열 필요 없이 웨이퍼를 자동으로 로드 및 언로드할 수 있는 전면 개구부가 있습니다. FOUP에는 일반적으로 깨끗한 내부 환경을 보장하기 위해 밀봉된 커버가 장착되어 있습니다.

적용 시나리오: 웨이퍼 제조 공정에서 FOUP는 이송 로봇과 같은 자동화 장치 간의 웨이퍼 이송에 널리 사용됩니다. 리소그래피, 에칭, 이온 주입 등 높은 수준의 청결도가 요구되는 공정 단계에 적합합니다.

2, FOSB(전면 개봉 배송 상자)

FOSB는 FOUP과 유사하지만 주로 웨이퍼의 장거리 운송에 사용됩니다. 한 공장에서 다른 공장으로 운송하는 동안 웨이퍼를 보호하도록 설계되었습니다. FOSB 역시 전면 개방형 디자인을 갖고 있지만 일반적으로 운송 중 진동과 충격에 대처할 수 있도록 더욱 견고합니다.

적용 시나리오: FOSB는 웨이퍼가 제조되고 추가 처리 또는 조립을 위해 한 제조 현장에서 다른 제조 현장으로 운송되어야 할 때 사용됩니다. FOSB의 밀봉 특성은 운송 중 깨끗한 환경을 보장합니다.

3, 카세트

카세트는 더 작은 크기(예: 200mm 이하)의 웨이퍼를 운반하고 이송하기 위한 초기 웨이퍼 캐리어였습니다. 일반적으로 여러 개의 웨이퍼를 운반할 수 있는 개방형 구조로 설계됩니다. 수동으로 조작하기 쉽고 자동화 장비로도 사용할 수 있습니다.

적용 시나리오: 초기 반도체 제조 장비 및 프로세스에 사용되며 일부 200mm 웨이퍼 생산 라인에서는 여전히 사용됩니다. 청소, 검사 및 기타 프로세스 단계와 같은 수동 취급 및 로딩 시나리오에 적합합니다.

요약: FOUP는 주로 300mm 웨이퍼의 내부 취급 및 보관에 사용되며 전면 개방형 디자인을 가지고 있습니다. FOSB는 주로 웨이퍼의 장거리 운송에 사용되며, 운송 중 청결을 보장할 수 있도록 설계가 견고합니다. 카세트는 수동 및 자동 작동에 적합한 개방형 디자인으로 더 작은 웨이퍼를 처리하고 보관하는 데 사용됩니다.

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