다공성 척 테이블, 일컬어: 다공성 세라믹 진공 흡입기금속(또는 세라믹) 베이스와 특수 다공성 세라믹 조합, 내부 정밀 공기 전도 설계로 구성됩니다.
세라믹 엔드 이펙터(세라믹 로봇 팔)는 반도체 공정 생산 전반에 걸쳐 실리콘 웨이퍼를 작동하고 운반하는 데 사용됩니다. 대형 웨이퍼를 처리할 수 있으며...
